气相沉积（CVD）炉
先进陶瓷
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一、设备用途：
用做石墨或碳碳表面的碳化硅涂层、碳碳复合涂层。
用途广泛 如：
1 碳碳复合涂层：光伏晶体炉的热场材料
2 石墨涂层：LED蓝宝石衬底MOCVD的石墨托盘
二、设备特点：
1 立式结构，炉壳用耐腐蚀材料制成。
2 独特的内罩进排气结构，热场温度均匀性好。
3 气氛控制精确，真空系统配有过滤器，可选配尾气处理系统。
4 主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌，性能稳定、可靠。
5 配备出、装料料车，方便操作及出装料，提高工作效率。
三、主要技术参数：
| No. | 型号 | 工作区尺寸（ØXH）mm | 高温度 (℃) | 真空度 (Pa) | 压升率 (Pa/h) | 温度均匀性 (℃) | 功率 （KW） |
| 1 | ZT-60-15 | 300X500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 60 |
| 2 | ZT-145-15 | 600X800 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 145 |
| 3 | ZT-220-15 | 800X1000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±15 | 220 |
| 4 | ZT-270-15 | 1000X1500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 275 |
| 5 | ZT-550-15 | 1500X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 550 |
炉膛尺寸可按要求定做
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